“中国制造2025”战略的提出使制造业成为推动中国经济发展的重要产业,其作用和地位不可忽视。“注重供给侧改革、优化资源配置”的工作重点使中国制造业产能利用率备受关注。党的十九大提出“经济必须坚持质量第一、效益优先,以供给侧结构性改革为主线,提高全要素生产率”,并指出要高度重视生态文明建设,制造业绿色全要素生产率成为衡量制造业经济高质量增长的重要指标。在经济全球化时代,各省制造业对外直接投资规模逐年增长,对各省制造业绿色全要素生产率有着重要影响。基于此,本文主要研究制造业产能利用率对中国制造业绿色全要素生产率及其分解项制造业绿色技术效率与制造业绿色技术进步的影响,尤其是探清对外直接投资是否发挥中介作用;进一步地,本文分析上述作用在东部、中部和西部地区是否具有区域异质性。基于此,本文选取2003-2019年中国30个省份的制造业动态面板数据为样本,采用随机前沿分析法与“需求—供给比率”指标计算制造业产能利用率,采用SBM方向距离函数结合Malmquist-Luenberger指数法计算制造业绿色全要素生产率,并分解为制造业绿色技术效率和制造业绿色技术进步。在此基础上,采用系统GMM估计法对制造业产能利用率、对外直接投资、制造业绿色全要素生产率及其分解项之间的关系进行实证分析,并将样本划分为东、中、西以探究区域异质性。结果表明:（1）制造业产能利用率的提高促进制造业绿色技术效率与制造业绿色技术进步,进而促进制造业绿色全要素生产率增长;（2）制造业产能利用率的提高能够引致对外直接投资;（3）提高制造业产能利用率对制造业绿色全要素生产率的促进作用有一部分是通过对外直接投资的中介作用实现,即形成了提高制造业产能利用率——对外直接投资——制造业绿色全要素生产率增长的传导路径,且主要通过对外直接投资传导给制造业绿色技术实现。区域异质性:（4）在制造业产能利用率的提高对制造业绿色全要素增长的促进效应上,东部正向效应最强,大于中部,西部促进作用最弱且不显著;中介效应方面,东部和中部形成了提高制造业产能利用率——对外直接投资——制造业绿色全要素生产率增长的传导路径,西部中介作用未发挥。其中,东部对外直接投资传导给制造业绿色技术进步发挥中介作用,中部对外直接投资传导给制造业绿色技术效率和制造业绿色技术进步发挥中介作用。本文研究结果为推进“中国制造2025”目标的顺利实现提供政策参考。