论文部分内容阅读
微加速度计被广泛应用于汽车工业、医疗器械行业与航空宇航等领域。通过将电容式微加速度计引入ΣΔ闭环系统中,可以直接获得加速度信号的数字输出。正是由于这一优势,ΣΔ加速度计已经成为了近年来国内外研究的热点。高阶ΣΔ机电系统的设计难点在于拓扑结构不能提供足够自由度以及机械结构具有较大的工艺误差。本文在建立了加速度计机械结构离散模型的基础上,对比分析了常见ΣΔ机电系统的拓扑结构。通过对传统结构的改进,分别提出了不受自由度限制的单反馈和多反馈拓扑结构。仿照ΣΔ电学调制器的设计方法,给出一种详细的高阶Σ