玻璃、陶瓷等脆性非导电材料具有超硬、耐磨、电阻率高、导热性能好等特点，在MEMS中的应用越来越广泛。电解电火花复合加工作为一种特种加工工艺，可以在不接触的情况下去除工件材料，没有宏观的切削力，加工脆性非导电材料可以获得较高的表面质量。本文主要研究了电解电火花复合加工方法的加工机理，通过微结构加工实验分析该方法加工硬脆非导电材料的可行性。主要研究内容如下：（1）介绍电解电火花复合加工的原理、特点，根据电解电火花复合加工的加工机理，设计具体的实验方案，主要包括基础工艺实验和铣削工艺实验。（2）针对实验设计方案搭建实验平台，完成了工作台的连接和调试，控制系统的设计和控制软件的编程，电极夹具和工件夹具的设计与制作等。（3）针对不同加工电压、工作液浓度和工具材料设计工艺实验方案，通过对打孔实验结果的分析，研究电解电火花复合加工脆性非导电材料的加工机理；通过不同条件下的实验结果分析得出加工电压、工作液浓度和电极材料对加工表面质量和加工效率的影响规律。（4）通过对玻璃材料的铣削、切割加工分析电解电火花复合加工脆性非导电材料的可行性；对陶瓷、硅片电解电火花复合加工进行初步实验研究。