基于微细加工的微型固态染料激光器的研究

来源 :上海交通大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liucm001
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在这篇论文中设计制造了一种正方形的微谐振腔型的固态染料激光器,采用的激光染料是罗丹明6G,所选用的基质材料有三种,分别是聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、PDMS和SU-8光刻胶。这三种基质材料都可以用微细加工的方法来制造其它的实验室单个组件如光波导、微型流体通道,化学混和腔等等。所以用上面三种材料作为基质材料制得染料激光器将来可以和这些组件采用同样的加工方法集成在一起,从而解决一些光学器件需要的对准的问题(比如光源和输出光纤的对准问题)。在工艺方法上,PMMA和PDMS染料激光采用的是做模浇铸的方法,其中,PMMA染料激光采用的是硅模,是用深反应离子刻蚀所制备的,PDMS染料激光是采用光刻SU-8作为模子浇铸的,SU-8染料激光是采用直接光刻掺有染料的SU-8所得到的。在调Q的Nd:YAG激光器的二次谐波(532nm)的泵浦下,PMMA基质的染料激光中得到600nm波长附近的多模激光输出,在PDMS和SU-8中都得到在592nm左右的单模激光。输出激光的强度均随着泵浦激光功率和掺杂染料浓度的增加而增加。最后也从实验上证实了微谐振腔可以用在光通信方面的滤波器中。
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