碟片激光器将传统的棒状晶体改为碟片状,增加了增益介质的表面积与体积比,可以有效解决固体激光器的热效应问题,实现了高平均功率、高峰值功率和高转换效率的激光输出。然而,在实现更高功率激光输出的同时,碟片晶体的热畸变特性成为制约激光功率与光束质量进一步提高的重要因素之一,因此,开展对于碟片激光晶体光程差的测量研究是非常有必要的。本论文调研了目前国内外常用的热畸变测量方法,选择相移干涉法对非运行状态下的碟片晶体光程差进行测量。论文详细介绍了相移干涉的原理和计算方法,并阐述了Zernike各项像差、光程差和波像差之间的关系,建立了一套完备的干涉图及光程差分析理论。之后从相移干涉测量中的误差源入手,分析了其中可能存在的误差,并主要对相移误差进行研究。在理论上模拟了相移误差的产生和对OPD测量结果的影响,讨论了不同方向的误差、不同大小的误差及随机误差的变化特性,最后提取出振荡曲线的上下轮廓线,进行中心线拟合,来消除相移误差引起的非球面纹波。搭建实验平台测量碟片晶体的面型,在已经存在未知相移误差的基础上叠加一定的已知误差,验证了理论分析的推论,并采用中心线拟合的方法获得消除相移误差后的非球面数据,对获知碟片晶体封装时的应力对面型的影响、碟片热透镜效应的测量及碟片激光器性能的提高具有一定的指导意义。