【摘 要】
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掺铒光放大器是波分复用系统(WDM)的重要组成部分.溶胶-凝胶地在制备掺铒平面海外侨胞波导有其独特的优势.光学聚合物在光通信领域的集成光学器件和光互连应用方面突出经济和
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掺铒光放大器是波分复用系统(WDM)的重要组成部分.溶胶-凝胶地在制备掺铒平面海外侨胞波导有其独特的优势.光学聚合物在光通信领域的集成光学器件和光互连应用方面突出经济和使用价值而倍受关注.该文通过溶胶-凝胶法在SiO<,2>/Si衬底上制备SiO<,2>-TiO<,2>-Al<,2>O<,3>和SiO<,2>-TiO<,2>-Al<,2>O<,3>-Er<,2>O<,3>凝胶玻璃薄膜.通过热分析、FT-IR、XRD和XPS研究了凝胶玻璃薄膜的结构性能,利用椭偏仪和SFM对薄膜的折射率、厚度和表面形貌进行了研究.
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