【摘 要】
：
本文在泵体柱塞试件(钢5CrMnMo)表面上,采用射频等离子体增强化学气相沉积(rf-PECVD)技术,通过控制不同的甲烷、氢气、氩气流量和不同过渡层等工艺参数,沉积了DLC薄膜。在此
论文部分内容阅读
本文在泵体柱塞试件(钢5CrMnMo)表面上,采用射频等离子体增强化学气相沉积(rf-PECVD)技术,通过控制不同的甲烷、氢气、氩气流量和不同过渡层等工艺参数,沉积了DLC薄膜。在此基础上,借助于X射线衍射仪、激光扫描共焦显微镜、扫描电镜、电子能谱仪、划痕试验机、纳米压入测试仪等仪器对DLC膜的微观组织、元素分布、涂层与基体间的结合力和涂层的纳米压入硬度进行了系统的研究。研究结果表明:采用射频等离子体增强化学气相沉积方法,可以在活塞轴表面沉积一定厚度的碳膜,但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力,薄膜牢度较小,易剥落,且不耐磨。我们用旋转磁控电弧离子镀技术,在钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层,然后再用射频等离子体化学气相沉积方法在过渡层上制备了DLC膜,发现所制备的碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高,且在Ti/TiC过渡层上各项指标最高。
其他文献
乐视网创建于2004年,并于2010年成功上市,形成了包含四层架构和五个引擎的乐视生态。该企业是一家集诸多荣誉于一身的企业,然而就是这样一家万众瞩目、发展迅速的上市公司却
本文以吉林省社会主义新农村建设为宏观背景，以永久镇产业结构为例，提出吉林省农业产业结构存在问题，依托问题成因分析，有针对性地提出解决问题的对策，旨在为吉林省在新农村建设过
随着科技的进步,现代工业的快速发展,在生产中对金属材料机械零部件的使用性能的要求也越来越高。自然界中极大多数的金属材料,尤其是铸铁,会被周围的腐蚀性或氧化性气氛腐蚀
拍振和共振是常见的自然现象,对水力机械稳定运行危害很大,但在对其研究中存在将二者混淆和对部分虚假拍振信号辨识不清等问题,需深入探讨。本文首先介绍了拍振波的基本原理,
近年来,将诊断探针和治疗试剂结合在同一个纳米平台中进行癌症的诊疗成为生物医药领域的研究热点。复杂的体内生理环境更加需要智能和多功能的综合诊疗纳米体系来实现精确诊
电动工具作为一种将电能转化为机械能的设备,被极其广泛地应用于我们生产和生活的各个方面。针对以电机牵引以及驱动系统的调速问题,长久以来一直是电力电子学科中的重要课题
汉字性质研究中既有西方语言学理论因素,也有中国传统语言文字学理论因素。受前者影响,汉字性质研究带有一些盲目和争论,呈现出较浓的政治和社会意味;受后者影响,汉字性质研
<正>《中学政治教学参考》(上旬·高中)2018年第11期刊登了江苏省南京市金陵中学刘艳雯老师的《表现性评价尝试》一文,读后深为刘老师的探索精神所感动。但感动之余,觉得刘老
随着电信网络和计算机网络的不断发展,网络安全技术已成为网络技术发展的一个热点。电信网安全评估可使运营商能够判断其网络产品和系统相对于自己的应用来说是否足够安全,其
针对大学生入党积极分子教育和培训工作中存在的问题,高校党课教育应加强师资队伍建设,提升教学水平;科学设计党课内容,统一大纲,规范课程实施;创新党课培训形式,丰富教学方