纳米颗粒气溶胶喷印系统设计与实验研究

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纳米颗粒气溶胶喷印是一种以纳米粉末形成气溶胶直接喷印成形的技术,避免了由于使用有机溶剂而带来的诸多问题,使其在电子器件制造领域具有良好的应用前景。本文设计出以纳米颗粒为喷印材料的双层鞘气结构喷印头,同时制作出可以将纳米颗粒和气体均匀混合的粉末气溶胶发生器,以此为基础构建完整的纳米颗粒气溶胶喷印系统进行实验研究。主要有以下内容:(1)开展双层鞘气结构喷印头内部粉末流场的仿真分析。利用流体仿真软件ANSYS Fluent中的离散相模型对双层鞘气结构喷印头中粉末流场进行数值计算,分析不同的鞘气层倾角对粉末浓度分布规律及汇聚特性的影响,并对双层鞘气喷印头的主要工艺参数进行仿真分析。(2)设计并构建纳米颗粒气溶胶喷印系统。首先,根据对喷印头鞘气层倾角的仿真结果,制作双层鞘气结构喷印头;其次,制作粉末气溶胶发生器,其作用是生成纳米颗粒气溶胶;最后,在此基础上搭建相应的气路,结合运动控制平台和温度控制装置,构建一套完整的纳米颗粒气溶胶喷印系统。(3)利用正交实验法探究主要工艺参数对纳米颗粒气溶胶喷印线条质量的影响。实验选用PET膜和PI膜为衬底材料,分析载气流量、第一层鞘气流量、第二层鞘气流量、喷印层数和基底移动速度对喷印线条形貌的影响。(4)完成对纳米颗粒气溶胶喷印正交实验中形成线条的电化学性能分析。在PET膜上,喷印线条的最小电阻率为12.55μΩ·cm,喷印线条的氧化程度最小为5.68(4);在PI膜上,喷印线条最小电阻率为9.11μΩ·cm,喷印线条的氧化程度最小为7.34(4)。经分析表明,氧化程度高的线条电阻率并不大,而线条电阻率大其氧化程度也并不高,这表明氧化程度的高低对线条电阻率的影响很小,而影响喷印线条电阻率大小的主要因素是线条的质量。
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