射频微电子机械系统(RF MEMS)技术在现代通信领域中越来越受到重视。开关是射频电路中的重要元件，具有低插入损耗、高隔离度、低开启电压、高可靠性的RF MEMS开关已经成为RF MEMS器件中的研究热点。基于MEMS开关的MEMS移相器具有频带宽、损耗低、微型化、易于集成等特点，在射频电路，尤其是天线阵列的应用中具有广泛前景。本文以国防重点实验室基金项目——毫米波MEMS天线阵列基础技术研究中的毫米波段MEMS开关和MEMS移相器为研究对象，从实际项目工程应用出发，分类介绍和设计了两种MEMS开关和三种MEMS移相器。毫米波MEMS开关部分介绍电容耦合型和金属接触型两种MEMS开关，论述他们的基本原理、技术指标、工艺流程及一般实现方法，并分别进行了设计仿真。以降低开关的驱动电压为目标，提出了对于电容耦合型MEMS开关的悬梁改进的一些方案，并在设计金属接触型MEMS开关时借鉴了他们。毫米波MEMS移相器部分介绍了开关线型、分布式和反射型三种MEMS移相器，论述了他们的基本原理以及设计时要考虑的种种因素，导入设计好的开关模型进行设计仿真。然后根据项目要求制备了金属接触型MEMS开关和反射型MEMS移相器，其实测性能与仿真性能相比基本一致，在某些测试数据上与仿真结果有一定误差，但已能满足工程项目应用的需要。由于受到各方面条件的限制，论文对本课题的研究还不够深入，因此在论文最后提出了课题进一步研究和发展的方向，为本课题的深入研究作了铺垫。