精密定位技术是一项高新技术，它是半导体器件制造业、超精密加工、微型机械、电子产品组装生产线、生物工程及纳米技术研究领域的关键性基础性技术，同时也是一门综合性技术，涉及光学、电子、机械、计算机、信息处理、传感与测量、伺服驱动、自动控制及其它一些周边支撑技术。 本论文提出了利用激光摩尔信号进行高精度位置检测与控制的技术方法，首先对双光栅衍射透射和反射模型进行了数学和物理原理分析和建模，对其数学模型进行了系统的仿真，对模型参数改变后的各种情况进行了讨论和探讨。经仿真发现透射零级摩尔信号周期性好、定位点附近线性好，结合实验结果它的光强也最强，是非常适合作为精密定位信号的；一级衍射信号尽管周期性和线性都不错，但实验中发现其光强较零级弱，所以系统选用零级衍射摩尔信号作为定位检测信号。另外还对反射衍射模型进行了分析和仿真，并对透射模型在光栅参数发生变化(如透光比变化)和粗细光栅组合时的衍射信号进行了仿真和分析，为以后的研究和系统改进打下基础。然后在原有差动定位技术的基础上，实现了修正式定位，并对它们的实验结果进行比较，实验表明直线定位精度和差动式相同，均为±O.5μm。最后介绍了在定位控制中效果较好的模糊控制技术，它比直接控制定位时定位时间短，受到干扰信号时重新进入误差带的时间也短，抗干扰性较好。