457nm蓝光激光器具有波长短、光子能量强、颜色饱满等优点,在高密度光学存储、激光显示与海底资源探测等领域有着广泛的应用。随着激光应用技术精度的不断提高,针对激光器输出光束的质量提出了更高的要求。高反射腔镜作为457nm激光器的重要薄膜光学元件,其主要作用是维持腔内激光的高效振荡,对蓝光激光的输出质量与效率有重要影响,因此研制性能良好的457nm激光器高反射腔镜具有重要意义。选择石英玻璃作为高反射腔镜的基片材料,基片采用非球面以提高激光强度。为减小基片表面粗糙度对高反射腔镜造成的散射影响,通过CCOS技术实现了高反射腔镜基片的制备。根据石英玻璃材料的加工特性,对铣磨与抛光过程中的工艺参数进行优化,通过全口径弹性预抛光与小工具修正抛光相结合的方式提高了非球面面形收敛效率,解决了石英玻璃材料硬度大、材料去除率低的问题。选择粒径更小的抛光粉,采用手工修抛的方式进一步提高了非球面表面质量,制备的高反射腔镜基片表面粗糙度达到1nm以下。457nm激光器高反射腔镜具有对基频光和457nm激光高反射,对泵浦光和腔内其余两条强发射谱线高透射的功能。基于高反射膜设计理论,选择H₄和SiO₂作为高低折射率材料,结合膜系设计软件,利用倍频反射膜思想实现了多波长高反射膜的设计。在满足五个波长高透射与高反射要求的同时降低了膜层总厚度,解决了利用常规思想设计时膜系优化难度大的问题。在薄膜制备过程中,优化了电子束蒸发工艺,采用离子辅助沉积与阶梯退火技术改善了薄膜的聚集密度与化学计量比,提高了薄膜的光谱稳定性与抗激光损伤阈值。通过逆向反演分析薄膜实际光谱曲线变化的原因,确定误差变化规律,利用最小二乘数据拟合的方法建立了残余蒸镀量与膜层厚度之间的关系式,解决了膜厚控制误差累积导致的光谱变差的问题。研制的高反射腔镜在457nm和914nm处的反射率分别为99.9%和99.6%,在808nm、1064nm和1342nm处的透射率分别为97.2%、96.8%和93.1%,经环境测试与抗激光测试,满足457nm激光器的使用要求。