压电驱动微流体系统具有结构简单、效率高和响应速度快等特点,随着科学技术的不断发展,其在各个领域的应用日渐广泛。然而,压电驱动微流体系统在实际使用中存在脉动问题,这限制了其在高精度和高稳定系统中的使用。为了提升压电驱动微流体系统的精确性和稳定性,本文针对压电驱动微流体系统脉动产生的原因,重点从驱动电压波形和流体滤波器两方面展开了脉动抑制方法的研究,实现了系统脉动的有效抑制。首先,对压电驱动微流体系统脉动产生机理进行探索,分析了系统脉动的影响因素,在此基础上,分别研究了视觉检测、电子天平检测和流量传感器检测三种方法,通过实验确定流量传感器检测方法,流量传感器检测法是一种客观可行的系统脉动检测方法,其既能满足实时性要求,又能够直观表征系统脉动的大小。在系统脉动影响因素分析的基础上,对比研究分析了不同的驱动电压波形的脉动抑制效果,提出了基于驱动电压波形修正的脉动抑制方法,利用“椭圆修圆法”原理,研究了不同波形修圆参数的系统脉动抑制效果,以流速稳定性为标准,获得了效果最佳的修圆参数组合。为了获得满意的脉动抑制效果,设计了一种用于抑制系统脉动的流体滤波器,根据滤波器的工作原理,研究了管道形状、通道尺寸和薄膜半径等因素对脉动抑制效果的影响规律。同时,利用Comsol软件对流体滤波器的性能进行仿真分析,依据脉动抑制效果,选择了最优的尺寸和结构。最后,以给定目标流速下的系统脉动抑制效果为目标,采用驱动电压波形修正与流体滤波器结合的脉动抑制方法,通过实验验证了抑制方法的有效性和可靠性。