【摘 要】
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双波长半导体激光器具有效率高、结构紧凑、使用方便等优点,在很多领域有重要的应用。本论文主要在双波长半导体激光器的结构和参数的设计方面开展了系统地研究工作,采用RSof
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双波长半导体激光器具有效率高、结构紧凑、使用方便等优点,在很多领域有重要的应用。本论文主要在双波长半导体激光器的结构和参数的设计方面开展了系统地研究工作,采用RSoft光学设计软件对输出1030nm和1064nm时双波长半导体激光器进行仿真模拟。本文的主要工作:1.对Y形波导结构进行模拟分析,确定Y形耦合波导的长度和分叉角度,得出当输入直波导为2000μm,输入斜波导为1000μm,输出直波导为6000μm,分叉角度为0.5°时,双DBR脊形波导发射出的单模激光在其中传输损耗最小。2.在对宽条形激光器理论分析的基础上,采用锥形腔结构来实现放大器件的输出功率并保证器件的发光光束质量的目的。采用BeamProp拟合出器件的最优腔长(脊形区和锥形区的长度)和锥形角度:脊型波导区1500μm,锥形波导区2500μm,锥形角度为0.92°,输入波导宽度4μm,输出波导宽度40μm。3.对双DBR半导体激光器进行模拟和工艺研究,所制作的器件常温下的阈值电流为42mA,在70mA注入电流下,连续输出功率达到7mW,光谱中心波长为1064.63nm,光谱线宽仅为0.12nm。
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