薄膜干涉滤光片具有通带窄、插入损耗低,温度稳定性好等特点,因此,采用薄膜干涉滤光片作为滤波器的调谐器件得到了广泛的研究。本文基于薄膜干涉滤光片热光调谐的基本原理,提出了一种热光可调Fabry-Perot薄膜滤波器。滤波器的材料是由等离子体增强化学气相沉积(PECVD)制备的非晶硅薄膜和氮化硅薄膜构成。利用非晶硅薄膜独特的热光特性和高的折射率,对非晶硅薄膜和氮化硅薄膜组成的多层介质薄膜Fabry-Perot腔加热,使得非晶硅薄膜的折射率发生变化,从而达到调谐透射波长的目的。在理论方面,以Fabry-Perot薄膜滤波片为研究对象,利用多层介质薄膜的膜系特征矩阵,对Fabry-Perot滤波片进行了计算分析,设计了一种垂直结构的热光可调Fabry-Perot滤波器。通过改变Fabry-Perot滤波片反射镜薄膜的层数和光学厚度以及中间腔的光学厚度,获得了一种窄带Fabry-Perot可调谐薄膜滤波器。研究了多腔结构的Fabry-Perot滤波片,通过仿真计算给出了一种采用垂直双腔结构的平顶Fabry-Perot薄膜滤波器。基于Fabry-Perot结构,通过合理的调整中间腔的个数和光学厚度获得多通道滤波器。通过对Fabry-Perot腔温度的变化来分析了上述滤波器的调谐特性,理论分析表明设计的滤波器具有好的滤波器特性和调谐特性。在实验方面,利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术来制备a-Si薄膜和SiN_x薄膜。主要研究了PECVD的工艺参数对薄膜的性能的影响。通过研究发现,射频功率是影响非晶硅薄膜的性能的最主要的参数,它不仅影响薄膜的折射率、沉积速率而且影响薄膜的电阻率。另外,反应压强,气体的流量以及温度都在一定的程度上影响着薄膜的性能。在氮化硅薄膜中硅烷与氨气的比值也会影响薄膜的性能。