本文主要围绕MEMS器件,包括电容式压力传感器,电容式加速度传感器,微机械陀螺,光开关等,进行了器件的设计、模拟和测试等相关工作.所建立的器件设计模型包括理论分析模型,有限元模拟模型,以及集成器件的机械特性与电学特性的等效电学模型.完成的主要工作包括:(1)设计了一种新型的电容式微差压传感器,并用浓硼掺杂KOH腐蚀自停止工艺制作,对其性能进行了有限元模拟和初步测试,检测结果表明该器件对小于100Pa的微差压敏感.(2)建立了加速度传感器、微机械陀螺和用于光开关的静电致动器的结构有限元模型以及静电致动器的耦合场分析模型,利用它分析了器件的动态性能.在这些模型中输入器件参数后可以自动完成器件的性能分析.(3)建立了加速度传感器、微机械陀螺和扭转致动器的等效电路模型,利用它对传感器的机械性能和电学性能进行了一体化模拟,从而可以优化检测电路设计,提高器件的检测性能.(4)分析了振子框架式微机械陀螺的灵敏度,并用有限元法研究了驱动模态频率和检测模态频率随其主要结构尺寸变化的规律,优化了陀螺的结构尺寸,使其驱动模态和检测模态的频率相互匹配,从而提高了陀螺的灵敏度.(5)分析了栅结构微机械陀螺的运动特性,并建立了栅结构微机械陀螺的机械耦合测试系统.