【摘 要】
:
硅片传输机器人是IC制造过程中的关键设备之一,负责半导体硅片在各个工序之间的传输与定位,其工作性能直接影响硅片的生产效率和制造质量。硅片传输机器人手臂是机器人的核心,它
论文部分内容阅读
硅片传输机器人是IC制造过程中的关键设备之一,负责半导体硅片在各个工序之间的传输与定位,其工作性能直接影响硅片的生产效率和制造质量。硅片传输机器人手臂是机器人的核心,它的性能决定了机器人的位置精度。针对硅片传输任务高稳定性、高可靠性的要求,对硅片传输机器人手臂进行优化设计,对硅片传输机器人的深入研究具有重要意义。本文首先分析了国内外硅片传输机器人和结构拓扑优化设计的研究及发展现状,提出将结构拓扑优化方法应用于硅片传输机器人手臂的设计。基于拓扑优化的基本原理,对连续体结构拓扑优化设计方法及优化求解数值算法进行了研究,探讨了拓扑优化中的数值不稳定现象及其解决方法,研究了滤波法相关公式。其次,根据硅片传输机器人的构型与设计原则,建立了机器人手臂的模型,对硅片传输机器人的径向直线伸缩运动展开分析,提出了实现该运动的机构,并对机构进行了运动学分析。设计了硅片传输机器人的手臂结构,建立了手臂的有限元模型,对手臂进行了动态特性分析,得出了硅片传输机器人手臂低阶模态与振型。然后,针对硅片传输机器人手臂快速运动容易产生机构本体振动的问题,基于拓扑优化理论,提出了一种硅片传输机器人手臂结构拓扑优化方法。采用有限元方法建立硅片传输机器人手臂的模型,应用ANSYS软件对手臂结构进行了拓扑优化设计,使得臂体的结构总柔度值减小,即增加了结构的刚度。最后,根据拓扑优化云图建立了手臂的新型结构,并对新的手臂模型进行了动态特性分析,结果表明手臂的低阶固有频率得到了提高,改进了硅片传输机器人手臂的振动特性,证明了将结构拓扑优化方法应用于硅片传输机器人手臂设计中的有效性和正确性。
其他文献
随着便携式电子产品的普及,作为其“心脏”的Li-Ion电池使用也越来越受重视。但由于它很容易遭受到过充电、过放电、过电流等损坏,所以它的保护电路的设计变得十分重要。锂离
近年来,随着我国医学领域研究的不断深入,医疗技术不断提高,同时,人们的维权意识也不断增强,医疗纠纷呈现不断上升的趋势。医疗纠纷和医疗诉讼数量的激增,要求法学理论对社会
土壤盐渍化是制约农业发展的主要因素。土壤水盐运移研究是认识并解决干旱半干旱地区灌溉后的土壤盐渍化问题的重要基础。在查阅大量文献的基础上,回顾了土壤水盐运移研究的
经过标本采集、分类鉴定和调查,筛选出10科14种珍稀名贵药材草本植物,对其生物学特性进行研究,为昭通珍稀名贵药材的种植和开发利用提供基础的科学依据,为昭通珍稀药材的成分
戈尔巴乔夫早期改革是原苏联七年改革历程中相当重要的阶段。对改革的困难程度和艰巨性估计不足;政策失误和不利因素的干扰;外交和防务政策的调整滞后是造成早期改革严重受挫
非法证据,是指在刑事诉讼中法律规定的享有调查取证权的主体违反法律规定的权限或程序,以违法的方式取得的证据材料。非法证据排除规则,是指以非法手段获取的证据不能作为定
划拨土地使用权制度是我国计划经济体制时期采取的唯一的国有土地供应方式,在经历了国有土地有偿使用制度改革后,与出让土地使用权制度并存,从而形成了我国国有土地使用中的
笔者长期在检察机关从事刑事检控工作,办理了大量银行工作人员破坏金融秩序犯罪案件,深知此类犯罪给国家和社会造成的巨大危害。前几年,具有200多年历史的老牌银行英国巴林银
21世纪是"海洋时代",各类海洋产业将得到迅猛的发展,游艇产业作为海洋产业的重要组成部分之一,被世界经济学家普遍认为是"漂浮在黄金水道上的巨大商机"。随着国际游艇制造业
随着知识经济的到来,企业的智力资本日益成为企业资源的重要组成部分。如何在企业内创造出更多的知识以及如何将组织内的知识充分应用好,已成为提升企业竞争优势要解决的关键问