【摘 要】
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根据论文课题,首先对课题对象高压场效应管LDMOS进行实验数据采集,根据大量采集得到的数据结合工艺与器件物理原理上的分析,对一些效应例如准饱和效应,碰撞电离以及自热效应
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根据论文课题,首先对课题对象高压场效应管LDMOS进行实验数据采集,根据大量采集得到的数据结合工艺与器件物理原理上的分析,对一些效应例如准饱和效应,碰撞电离以及自热效应等高压器件特有的现象进行了物理分析。同时参考了工艺模拟中的LDMOS漂移区电阻的计算推导,在计算出漂移区电阻公式,利用电阻公式建立了以bsim3v3 MOSFET model为核心,漏端串连漂移区电阻的比较原始的宏模型结构等效电路。在该等效电路的基础上,将其他一些效应采用近似的电路元件来代替,最后建立成一个比较复杂的宏模型电路。为了验证该电路的正确性,又将其转变成了HSPICE格式的model card,利用MBP等模型参数提取软件提取其中的模型参数,得到了能够比较精确模拟高压特性的模型解决方法。最后通过SPICE的仿真结果同不同器件尺寸的实测数据进行比对,验证了其正确性。
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