掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为透明导电氧化物(TCO)薄膜的一种,具有较高的光电性能,并且由于其资源丰富,性能稳定,无毒,易于刻蚀掺杂等优点而备受重视,有广阔的发展前景。然而一般的AZO薄膜难以达到某些应用领域较高的光电要求,所以各种薄膜表面处理技术以及多层薄膜制造技术迅速开展起来。激光诱导正向转移技术(LIFT技术)可以用来转移微量物质,并在接收端得到转移后的薄膜材料以及纳米粒子,是一种新型激光微加工技术。本文通过LIFT技术转移银薄膜,在AZO薄膜表面沉积银材料以提高薄膜综合光电性能。从理论与实验两方面研究了转移机制并探讨了实验结果,其主要工作包括下面两个部分:1.研究了激光与金属材料相互作用机理。建立了一维与二维双温模型,数值模拟了皮秒与纳秒单脉冲激光作用下银薄膜内温度的变化,揭示了薄膜烧蚀阈值与薄膜厚度之间的变化关系,探讨了激光参量和薄膜厚度对转移机制的影响,可以得到:当薄膜厚度较小时,薄膜的转移是激光作用区域材料同时以液态或气态的形式进行;当薄膜较厚时,薄膜的转移是上层熔化或气化材料冲破下层材料束缚而进行,且转移薄膜的状态由激光能量决定。同时还研究了多脉冲激光以及高重频激光扫描作用下薄膜的热效应,可以发现,多脉冲累积效应会导致薄膜烧蚀阈值的降低。通过建立激光扫描模型计算,明确了实验所用皮秒激光扫描时不会出现脉冲累积效应。2.通过皮秒激光正向转移技术,分别将30nm、50nm、100nm以及200nm银膜转移至AZO薄膜上,研究了 Ag-AZO薄膜综合光电性能与薄膜厚度,激光能量,转移次数之间的关系。实验结果显示:(1)当银膜厚度为30nm与50nm时,在AZO薄膜表面观察到大量的银纳米粒子沉积,粒子按照扫描痕迹服从两边多中间少的分布。随着激光能量密度的增加,Ag-AZO薄膜可见光波段平均透过率呈现总体下降,小范围内上升的规律,方块电阻则不断下降。当激光能量过高时,薄膜被破坏;(2)当银膜厚度为100nm及以上时,不能够得到综合光电性能提升的AZO薄膜,激光能量较低时在接收端薄膜上观察到银薄膜呈现条状沉积。随着激光能量的增加,条状结构消失,出现尺寸较大的银纳米粒子团簇结构,并且当银膜厚度增加至200nm时,接收端可以观察到纳米团簇转变为纳米短棒,并呈现类似网状结构分布;(3)相比于单次转移,两次转移时AZO薄膜上沉积的纳米粒子数量更多,尺寸更大,但是由于Ag-AZO薄膜导电率的提升不足以补偿透光率的下降,薄膜的综合光电性能并未得到提升。