本论文以准分子激光微加工为基础，详细阐述了集准分子激光微加工、准分子激光微加工同轴显微镜、一维可同步调节线宽掩膜系统于一体的准分子激光微加工系统的原理和构成及相关的实验结果。论文主要内容包括以下几个方面： 1.概述了本课题的提出背景，对于当前应用的准分子激光微加工系统进行了研究，分析了本课题的可行性。 2.对将准分子激光微加工同显微镜的结合进行了设计和探讨，并进行了相关的设计，在显微镜的基础上设计了本准分子激光微加工系统。 3.对系统中所采用的53X正置金相显微镜进行结构解析，并对其结构进行了改造和重新设计，分别包括光学结构和物理结构的设计和改造，使其符合本系统的结构要求。 4.对系统中的掩膜部分进行了修改和重新设计，详细阐述了可以实现在加工过程中同步变化的掩膜系统的结构设计过程和实现方法，实现一位同步变化线宽的复杂图形(如梯形、三角形等)的微细加工。 5.通过相关的实验，得出所要加工的图形，并通过实验数据统计和分析，论证本准分子激光微加工系统的加工工艺水平。 随着本系统的设计完成和实现，它提供了一种准分子激光微加工系统和加工方式，通过对显微镜的相关改造，实现了准分子激光微加工同显微镜的结合。同时，通过从新设计和实现一维可变线宽的掩膜系统，实现了一维可变线宽准分子激光微加工。 本课题采用理论分析与实践相结合的研究方法，将整个系统进行了模块化划分，分别对每一个模块进行设计和实现，再通过整合，完成整个系统。提高了准分子激光微细加工的工艺精度和加工复杂度等，成为一种新型的准分子激光微加工系统。