论文部分内容阅读
现代光学技术不断发展,光学元件在军事、航空等领域发挥着至关重要的作用。精确检测光学元件表面质量,对优化光学元件抛光工艺、优化镀膜工艺以及降低薄膜器件的损耗具有重要的意义。针对目前光学元件表面检测方法存在的接触、有损伤、低效率等缺点,本文提出了一种基于微扰理论的微分散射非接触式检测方法。通过分析不同检测方法的适用条件及优缺点,确定了使用非接触、高精度的微分散射法检测超光滑K9玻璃表面粗糙度。通过对粗糙面光散射近似解析方法的深入研究,将微扰理论应用到光学元件表面粗糙度的检测中,得到了光学元件表面微分散射