【摘 要】
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本文采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)单晶衬底、铝酸镧(LaAlO_3)单晶衬底和SiO_2衬底上溅射了Ln_(0.5)Sr_(0.5)CoO_(3-δ)薄膜，并将薄膜经过不同温度热处理。运用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)测试了Ln_(0.5)Sr_(0.5)CoO_(3-δ)薄膜的微观结构、表面形貌以及化学状态；利用四端法测试了各种样品的电导
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本文采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)单晶衬底、铝酸镧(LaAlO_3)单晶衬底和SiO_2衬底上溅射了Ln_(0.5)Sr_(0.5)CoO_(3-δ)薄膜，并将薄膜经过不同温度热处理。运用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和X射线光电子能谱仪(XPS)测试了Ln_(0.5)Sr_(0.5)CoO_(3-δ)薄膜的微观结构、表面形貌以及化学状态；利用四端法测试了各种样品的电导率。XRD结果表明：YSZ和LaAlO_3单晶衬底上制备Ln_(0.5)Sr_(0.5
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