本论文的研究属于半导体传感器和微电子机械系统技术领域，内容分为三个部分。第一部分对本研究领域的发展和谐振式悬臂梁的基本理论进行综述，该部分由第一章和第二章构成。第二部分为硅微机械谐振式悬臂梁传感器的设计、制作与生化测试，由第三到五章构成。第三部分为第六章，介绍了一种利用单根悬臂梁检测多种物质的方法。　　 第一部分综述了微米集成技术与纳米自组装技术结合的微纳机电传感器，引出本论文采用的微纳技术结合的谐振式悬臂梁传感器的研究内容。　　 在第二部分的研究中，一方面对电热驱动方式进行了优化，并采用体硅微加工工艺制作了集成驱动与检测电阻的谐振式悬臂梁传感器；另一方面开发了快速再生技术(包括对化学气体的电加热“自清洗技术”及对生物分子的纳米分子链可拆卸技术)、超枝化敏感膜技术以及多壁碳纳米管敏感膜技术，对制作完成的微悬臂梁传感器进行了生化检测，实现了对炭疽芽孢和饱和DMMP气体的快速重复检测以及对浓度分别为7.2ppb和5ppb的DMMP气体及TNT蒸汽的超高分辨率痕量检测。　　 第三部分提出了一种利用单根悬臂梁同时检测多种物质的方法，突破了原有的利用悬臂梁阵列进行检测的方式，并通过实验进行了验证。