飞行光学聚焦特性自适应控制主要是从事中国科学院仪器研制项目"激光光束质量控制仪"的研制,从理论和实验上解决飞行光学聚焦特性的控制问题.该论文第2-5章为飞行光学聚焦特性自适应控制.论文在理论上对飞行光学聚焦特性(包括实际焦距、焦践大小、焦深变化等)进行了深入的研究,尤其是对高功率CO<,2>激光器中输出耦合窗口由于热变形引起的聚焦特性的改变进行了着重研究,并提出了新的补偿措施.论文对自行研制的自适应液压反射镜的变形规律从理论和实验上进行了研究,得出一些实用性的结论.根据所研制的光束质量控制仪的特点,提出了独特的液压系统设计方案,采用了最新的基于PC的PLC控制思想,并编写了相应的控制程序和接口软件,经过联机调试,取得了良好的效果.光刻机工件台掩模台分系统技术方案是为国家863计划重大项目"100nm步进扫描投影光刻机"而设计的.该论文第6-9章为光刻机工件台掩模台分系统技术方案.该技术方案是在较全面、深入调研国外高水平光刻机技术的基础上,结合中国实际国情而制定.方案主要对工件台和掩模台分系统的机械结构子系统和测量子系统的组成、功能、结构、材料、尺寸、关键元器件、加工工艺和部分误差分析以及环境控制措施等进行详细的阐述.该技术方案得到了众多光刻机专家的好评.