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锆钛酸铅(PZT,Pb(ZrxTi1-x)O3)薄膜材料是一种具备优异压电铁电性能的功能薄膜材料,众多研究者对PZT薄膜材料进行了长期的研究,至今仍受到国内外研究者的关注。PZT薄膜材料随着组成的改变,能够产生丰富的相结构和不同的性能,但是目前对PZT薄膜的研究主要集中在准同型相界(x=0.52)组成附近,较少有研究者对PZT薄膜进行系统地研究。组成梯度PZT薄膜因具有一些特异的物理性能被众多研究者所关注,但是对于梯度铁电薄膜特异物理性能产生的原因还不明确,甚至还存在着争议,有待对梯度薄膜的特性进行