本论文对毛细管电泳芯片的概念、机理、发展历史,研究现状及未来趋势进行了分析。毛细管电泳芯片作为分析工具,是科学仪器向微型化、集成化、便携化转变的重要阶段,在生物化学领域中起着重要作用。本论文针对目前国内外对毛细管电泳芯片的研究现状,采用准分子激光在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直写刻蚀制备毛细管电泳芯片,同时搭建了一套激光诱导荧光检测系统。本文在大量实验基础之上,确定了制备毛细管电泳芯片的加工参数。文中对准分子激光直写刻蚀芯片微通道、池的形成机理进行研究,以及分析了键合前后微通道底面粗糙度与加工参数的关系。然后,在19Kv,5 Hz及5 mm/min的加工参数下,采用准分子直写微加工系统制备完成了毛细管电泳芯片的实验样品。随后,该芯片与相同尺寸的盖片热压键合成密闭性较好的芯片。整个过程在30分钟完成。最后尝试了带有筛式入口的毛细管电泳芯片的制备研究,设计了用于刻蚀该结构的掩模架,成功地将该筛式结构连接到池和微通道之间。准分子激光刻蚀PMMA过程中,随着加工参数选择的不同,微结构表面出现不同程度、不同范围的横向影响区,本论文提出采用水环境的加工方法。文中分别在空气和水环境下,进行了横向影响区范围、刻蚀深度与脉冲个数之间关系比较实验研究,同时对两种环境下的刻蚀机理进行比较分析。总结出了不同加工环境下实验结果存在差异的原因,指出采用水环境加工方法可有效地控制横向影响区范围,获得高质量地微结构形貌。本论文自行搭建了一套激光诱导荧光检测系统,将该系统用于毛细管电泳芯片分离样品信号检测。文中利用该检测系统进行了Cy5荧光染料在未实施修饰毛细管电泳芯片的检测实验。实验结果与玻璃基毛细管电泳的检测结果相比较,两者分离时间基本保持一致,检测效果明显。