社会发展加重了能源危机和环境污染。为此，人们不得不改变对化石燃料的过分依赖，转而开发无污染、可循环的新型清洁能源，尤其是以太阳能为首的可再生能源。太阳能的开发促进了以硅为原料的光伏产业的迅猛发展。流化床法制备多晶硅的技术具有效率高、能耗低、纯度高、产物晶体型态稳定等一系列优点，但其难点在于如何避免硅烷（SiH4）均相裂解形成非晶硅细粉。遗憾的是，这一过程的反应机理迄今未有统一的定论。为了精准控制生产条件，有必要充分了解反应条件对硅烷热分解产物的影响。本文在垂直空管反应器内，采用硅烷裂解法得到不同反应条件下的均相裂解的非晶硅粉末，利用红外漫反射池、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等对产物进行表征分析。研究揭示了反应温度、操作气量和硅烷浓度对非晶硅产物微观形态、粒度分布、Si-H结构和组成等性质的影响；通过对不同条件下Si-H结构的分析，进一步阐述了硅烷均相裂解的机理和过程。结果表明，反应温度越高、操作气量越低、硅烷浓度含量越高时，产物的颗粒粒度也就越大，但其粒度分布范围仅受反应温度影响；对于产物的Si-H结构和组成，反应温度的影响最强，而硅烷浓度的影响最弱。