纳米氧化亚硅（SiO_x,x<2）具有良好的化学性能,在镀膜领域、精细陶瓷制备领域、锂离子电池负极材料领域有着广泛的应用。在锂离子电池负极材料应用中,可以极大的提高锂离子电池容量,并因其长循环寿命和低成本极具应用前景,随之而来的便是其巨大的产量缺口。传统方法用于制备具有不同粒径的纳米SiO_x粉末,其具有制备方法简单,易操作、成本低等优势。但遇到一些难题,例如低产率,粒度分布不均匀和颗粒团聚现象严重等问题。热等离子法是克服这些难题的有效方法,等离子技术作为重要的纳米材料制备技术,有效地改变物质的粒径起到纳米化作用。利用热等离子法制备纳米SiO_x粉末,对制备工艺进行探索,选出最佳工艺参数,并为制备纳米SiO_x粉末的深化实验积累实验数据。研究内容及结论如下:1.本文以原料SiO、金刚线切割硅粉与二氧化硅粉为原料,利用温度高、能量集中和高速的氩气等离子炬将SiO粉体气化并快速冷凝,形成纳米化SiO_x粒子,然后将产物收集,并对其进行物相及微观形貌表征和电化学性能测试。2.原料SiO经过热等离子法处理后,颗粒尺寸显著减小,并且在一定功率范围内随着等离子体功率的增大得到的粒度更小、分布更加均匀。制备出的纳米SiO_x为近球形颗粒,表面光滑,为非晶态,反映了热等离子法制备纳米粉末均匀成核的机理;提升主气流速不利于降低颗粒的团聚现象,且颗粒粒径在一定主气流速范围内随着流速的增大而增大,而样品的比表面积随着主气流速的增大而减小;在一定条件下,增大冷却速率有利于抑制歧化反应的发生。3.对热等离子法制备纳米SiO_x粉末及其在锂电池负极材料应用进行研究分析。功率为13.2 k W,14.3 k W和15.4 k W时制得的纳米SiO_x颗粒,用纳米SiO_x作为负极活性材料测试电池性能:首次放电容量分别为1732 m Ah·g^-1,1771m Ah·g^-1,1924 m Ah·g^-1,50次循环后其容量分别保持在313 m Ah·g^-1,316 m Ah·g^-1,395 m Ah·g^-1;而原始SiO颗粒首次放电容量约为1291 m Ah·g^-1,50次循环后容量保持在75 m Ah·g^-1。可以发现利用热等离子法制备的纳米SiO_x的电化学性能得到了极大的提升。