倾斜反射镜常用于微定位系统，在自适应光学系统中可用于实现波前整体校正，在空间光通信ATP系统中可用于执行精跟踪光束偏转等。基于倾斜反射镜的微定位系统需要重点关注小角度偏转条件下合理驱动方式的选择问题以及怎样提高控制精度问题。针对以上问题，本文在开展倾斜镜工作原理分析的基础上，开展了基于压电陶瓷驱动器的倾斜反射镜转动驱动技术研究以及在闭环系统中采用PID控制算法提高驱动系统控制精度技术的研究。论文主要内容包括：1、在分析倾斜反射镜工作原理的基础上，设计了压电倾斜镜驱动的总体框架，论述了各个模块的设计原理，包括输入控制模块、电源模块、高压功率放大模块和传感器检测回路模块。输入控制模块主要讨论了DSP芯片选择及其外围电路设计、D/A转换电路和A/D转换电路；电源模块讨论了高压电源的设计和低压电源的设计，重点开展了高压电源以及高压功率模块（包括器件的选择，电路的设计及其电路的保护措施等）的设计；传感器检测回路模块分析了传感器回路的工作原理和控制原理。2、在完成压电陶瓷伺服控制模块和压电陶瓷执行器倾斜平台选择的基础上，分析了压电陶瓷控制系统开环和闭环工作原理，搭建了压电陶瓷控制系统模型。论文开展了基于压电陶瓷控制系统的闭环控制算法研究，建立了压电陶瓷驱动系统的数学模型，导出了开环系统传递函数，采用Ziegler-Nichols整定法对所建立的模型进行了仿真，仿真结果显示经过校正后系统超调量小、响应时间快、稳定误差小。3、用Multisim软件对所设计的驱动电路的线性度、线性误差、静态纹波和动态性能等方面进行了仿真，并根据驱动电路制作了驱动板，测试了驱动板的性能。测试结果表明，本文所设计的驱动电路满足设计要求。最后，本文还测试了在开环模式和在有检测补偿的闭环模式下，压电陶瓷柱体和其两端施加的电压之间的关系。