渐变折射率纳米多孔减反膜的仿真、制备和表征

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通过对渐变折射率减反膜的光学理论推导,分别采用光学软件和基于等效分界面算法的自编程,对选取的理想金字塔模型膜系进行了光学仿真,探讨其全向减反性能。实验采用550℃退火分相3小时后的硼硅玻璃3.3(主要成分wt.81%SiO2、13%B2O3、4%Na2O、2%Al2O3)在不同恒定温度下,经特定浓度硝酸溶液沥滤不同时长成功制备出渐变折射率纳米多孔减反膜。实验样品主要利用场发射扫描电镜、分光光度计分别对样品薄膜的表面、截面形貌和平行光、变角度入射光透过率进行表征与分析。结果表明:(1)仿真结果表明,光线垂直入射时,渐变折射率金字塔模型膜系反射率随着薄膜厚度的增大而减小,厚度为1μm时,反射率低至0.0367—0.1458%。薄膜具有优异的全向减反性能,当光线入射角高达70°时,反射率仅为13.1582—16.3702%。(2)减反膜表面为纳米多孔结构,孔洞分布均匀,孔径约为20—40nm,薄膜厚度约为120—200nm。实验发现,当硝酸沥滤时长不够时,孔洞稀疏零散;沥滤时间过长时,孔洞过于连通,形成大片“蠕虫式”结构,但薄膜厚度变化不大。(3)50℃下,经0.2mol/L硝酸沥滤33分钟制备的减反玻璃平行光透过率最高可达98.5%,比普通玻璃增大4—7%。实验结果与理想渐变折射率金字塔模型膜系仿真值在短波段处仅偏低1%左右。光线入射角在30°内时,薄膜玻璃的反射率保持在4%内,角度增至75°时,反射率仍低于20%,全向减反性能良好。(4)纳米多孔减反玻璃的透过率峰值随着硝酸沥滤时长的增加呈现先增大后减小的趋势,且峰值所对应的波长值朝长波段移动。在一定温度范围内,薄膜玻璃透过率增大速率会随着实验温度的增大明显加快。(5)同时发现,该种纳米多孔玻璃具备良好的防雾性能。
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