基于氧化物半导体纳米材料的NO2气体传感器研究

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随着我国经济的不断进步,工业化水平的飞速发展,暴露出的环境问题也日益的明显,大量的工业废气、汽车尾气排放到大气中,导致了近年来雾霾频频发生。其中有害气体NO2便是雾霾的主要成员之一,过量的NO2不仅会导致酸雨的形成,还会对人体的呼吸系统造成损害。基于金属氧化物半导体的气敏传感器可以实现快速高效地检测NO2气体,一直是科研工作者研究的热点。气敏传感器的核心为气敏材料,材料对气体的敏感性能可以从结构与组分方面进行改善提高。本论文利用简便的油浴和水热的方法制备了具有优异性能的氧化铟与氧化钨纳米结构材料。通过调控氧化铟内部结构缺陷,建立了半导体金属氧化物微观结构与气敏性能之间的关联;通过贵金属(如Au)纳米粒子修饰在氧化钨表面,利用Au纳米粒子的催化作用以达到气敏性能提升的目标。主要工作如下:(1)采用一种简便的油浴沉淀法成功地合成了砖块状的氧化铟纳米材料并应用于NO2气敏性能的研究。从材料本身出发,改变煆烧温度进行微观结构与内部缺陷的调控并且对比氧化铟气敏性能的差异。通过XRD、SEM、BET表征手段分析材料表面微观结构的变化;通过XPS、PL表征手段分析其内部结构缺陷与表面吸附氧含量的变化;通过霍尔效应测试研究电学性能的差异,结合以上表征建立起微观结构与气敏性能之间的关联,解释氧化铟气敏性能改善的原因。此外,实验结果表明:400℃下煆烧的氧化铟材料有着最好的气敏响应,工作温度为50℃时,对500 ppbNO2响应值高达402,响应时间和恢复时间分别为114s和49s。(2)采用简便的水热方法,利用钨酸钠与盐酸为原料、柠檬酸为辅助剂在130℃下反应,制备了厚度约60nm、长度约200nm的块状的氧化钨纳米材料,以此氧化钨材料为基础对其进行贵金属修饰,研究了贵金属负载对低浓度NO2气敏性能的差异。Au的修饰可以大大的降低工作温度,由原来的100℃降低到近室温30℃,在30℃下,0.5%Au-WO3样品对500 ppb NO2的响应值约290,比纯W03的响应值提高了 8倍。
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