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啁啾脉冲放大技术(Chirped Pulse Amplification—CPA)的快速发展和应用促进了高效率大口径衍射光栅的需求,而大口径的衍射光栅制备非常困难,面对这一困难,许多专家学者们开始研究其他的方式来获取大口径衍射光栅,其中采用拼接的方法最为有效,而且已经获得了初步的研究成果。 分析了光栅拼接需要控制调整的自由度,在此基础上,根据精密拼接光栅亚微米量级的高精度和长时间动态稳定的控制要求,确定了拼接光栅的多自由度驱动方式,选定压电微位移驱动器作为系统的驱动,带自修正因子的模糊控制作为系统闭环控制算法。建立了△形和L形两种并联驱动模型的数学模型,并定性和定量分析了两种驱动模型下不同传感器布置方式的误差,得出△形驱动模型下传感器外圆周△形阵列布置较优,L形驱动模型下外环L外侧L阵列布置较优。基于实验数据,设计了系统的带自修正因子的模糊控制算法,建立了系统的传递函数模型,在Matlab环境下对系统作了模糊控制和带自修正因子的模糊控制的阶跃仿真,由仿真结果看出带自修正因子模糊控制优于普通模糊控制。基于Visual C++开发了系统的拼接软件,同时对系统的硬件进行了选型。在2×2光栅拼接架上做了系统的软件功能验证实验和系统算法验证实验,实验结果表明:拼接软件能够实现系统的各个控制功能,模糊控制和带自修正因子的模糊控制都能够实现系统的闭环控制,使系统具有一定的动态稳定,而从控制精度方面看,带自修正因子的模糊控制要优于普通的模糊控制。