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本文用直流磁控溅射法在CrNi3Mo炮钢基体上分别镀覆铬、钽及铌薄膜,并对不同沉积参数下的膜层表面形貌、结构及硬度、摩擦磨损性能、抗热震性等性能进行了基础性研究。
论述了铬膜的显微硬度总体上要高于钽膜和铌膜,但耐磨性最差,铌膜的硬度最低,钽膜的耐磨性最好。铬膜的硬度随溅射电流的升高直线上升,其磨损破坏为脆性断裂破坏。
总结了铬膜的抗热震性能比钽膜和铌膜好的多,三次热震后的最大破损率仅为20﹪;铌膜的抗热震性能最差,两次热震后大部分试样的破损率已达40﹪以上。铬膜的抗热震性随气压的升高而降低,随溅射电流的增大而增强。铌膜的抗热震性能随气压的升高及溅射电压的增大而增强,并且在基体偏压为-150V时最好。钽膜的抗热震性能随气压的升高及溅射电流的增大而增强。