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加速度计是一种典型的惯性导航传感器。随着微机电系统（MEMS）的发展，MEMS加速度传感器越来越显示出它的重要性。它和微惯性陀螺组成的微惯性测量组合（MIMU）在惯性测量方面有着不可替代的优势。尤其近几年，微惯性测量组合器件在消费电子，航空航天，汽车电子等方面有着愈来愈高的要求，因此，利用MEMS技术开发研究高精度，高量程，低功耗，低成本的微加速度计迫在眉睫。本文研究了一种金属基多梁圆盘式敏感质量加速度计，该加速度计采用金属作为主要支撑材料，金属的断裂韧度远高于硅系材料的断裂韧度，可在很大程