论文部分内容阅读
加速度计是一种典型的惯性导航传感器。随着微机电系统(MEMS)的发展,MEMS加速度传感器越来越显示出它的重要性。它和微惯性陀螺组成的微惯性测量组合(MIMU)在惯性测量方面有着不可替代的优势。尤其近几年,微惯性测量组合器件在消费电子,航空航天,汽车电子等方面有着愈来愈高的要求,因此,利用MEMS技术开发研究高精度,高量程,低功耗,低成本的微加速度计迫在眉睫。本文研究了一种金属基多梁圆盘式敏感质量加速度计,该加速度计采用金属作为主要支撑材料,金属的断裂韧度远高于硅系材料的断裂韧度,可在很大程