提高光学玻璃材料折射率均匀性检测精度的技术研究

来源 :中国科学院研究生院 中国科学院大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:c2t2dy20
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光学玻璃材料的折射率均匀性是衡量光学玻璃质量的重要参数指标。对于制造高精密仪器的玻璃材料,要求其折射率均匀性的检测精度非常高。常用的检测方法往往无法实现对毛坯玻璃的高精度检测,只有平面干涉法才能够满足这一要求,使检测精度高达0.2ppm。本文从理论上分析了平面干涉法测量系统的不确定度,完成了折射率均匀性检测实验,开发了用于折射率均匀性测量的专用软件。从实验结果的误差分析中,总结出影响测量精度的最重要的三个因素:干涉仪测量精度、测量腔温度条件以及贴置板空间装调精度。提出了提高精度的措施,论证了该方法的可行性。研究表明,当干涉仪标定后的测量误差为14m,测量腔长度为0.3m,温差为0.05℃,贴置板空间装调水平误差为1mm,垂直误差为1mm,相对旋转角度误差为0.38°时,测量精度为0.2ppm。平面干涉法可以满足毛坯玻璃材料折射率均匀性的高精度测量需求,具有较好的应用价值。
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