【摘 要】
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该文详细阐述了喷丝板CCD(光电耦合器件)显微测量系统中两项关键技术研究.一是喷丝板喷丝孔的自动定位,一是喷丝板测量中的自动调焦.解决这两项关键技术有助于实现测量的自动
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该文详细阐述了喷丝板CCD(光电耦合器件)显微测量系统中两项关键技术研究.一是喷丝板喷丝孔的自动定位,一是喷丝板测量中的自动调焦.解决这两项关键技术有助于实现测量的自动化,提高测量的效率及准确度.针对自动定位问题,该文在原系统的基础上,重点研究了自动定位的执行方案,提出了逐次逼近的运动方案和采用步进电机作为驱动装置,磁栅尺作为反馈装置的闭环控制方案.同时设计了自动定位的硬件系统,设计了用于步进电机驱动的驱动电路,编写了自动定位系统的控制软件.
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