【摘 要】
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铌酸锂(LiNbO_3,LN)晶体是一种优异的压电材料,因其优异的铁电、介电、热电、电光等性能,被视为“光学硅”,在光导、声表面波等器件中应用相当广泛。但由于它的“软脆”特性,在机械加工时易于损伤,甚至断裂。伴随着相应产品的微型化和集成化,对晶片厚度与表面质量要求越来越高。所以针对铌酸锂晶体材料特性及应用要求,急需开发与之相适应的高效加工技术是具有非常重要的理论与工程意义。本文针对铌酸锂晶片进行了
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铌酸锂(LiNbO_3,LN)晶体是一种优异的压电材料,因其优异的铁电、介电、热电、电光等性能,被视为“光学硅”,在光导、声表面波等器件中应用相当广泛。但由于它的“软脆”特性,在机械加工时易于损伤,甚至断裂。伴随着相应产品的微型化和集成化,对晶片厚度与表面质量要求越来越高。所以针对铌酸锂晶体材料特性及应用要求,急需开发与之相适应的高效加工技术是具有非常重要的理论与工程意义。本文针对铌酸锂晶片进行了磨削减薄实验研究,通过优化加工工艺参数,获得了厚度为100μm的晶片。对铌酸锂磨削后的表面形貌和微观结构
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