【摘 要】
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目前市场上对平板显示器的需求日益增多,而在各类平板显示器中,场致发射显示器兼有阴极射线管显示器和液晶显示器的优点,具有极大的发展潜力.该文介绍了一种器件结构和制备工
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目前市场上对平板显示器的需求日益增多,而在各类平板显示器中,场致发射显示器兼有阴极射线管显示器和液晶显示器的优点,具有极大的发展潜力.该文介绍了一种器件结构和制备工艺简单,易于实现大屏幕显示,且适于批量生产的新型场发射阴极,即在金属钛衬底上均匀涂覆纳米金刚石涂层,然后在高温下退火处理实现两者的牢固键合,并形成欧姆接触.从理论上研究了制备金属基金刚石纳米涂层场发射阴极的可能性,并根据相关理论,提出一整套工艺设想.重点探索了涂覆金刚石纳米涂层的方法、实现金刚石与金,属钛的热粘接工艺以及氢等离子体处理的工艺参数,筛选出了在该实验系统中的最佳方法和工艺条件.采用XRD、SEM、TEM、LRM和EDS等测试分析手段,对实验样品进行检测分析.分析结果表明,热处理后,样品表面确实生成了TiC,实现了金刚石纳米涂层与金属Ti的键合.自行设计组建了场发射性能测试系统,并用其测试了样品的场发射性能,表明实现热粘接后样品具有较好的场发射性能.
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