【摘 要】
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射频产品已成为现在生活中不可缺少的一部分。在射频收发机中最重要的部分就是频率综合器,而频率综合器中的重要组成部件就是压控振荡器。射频电路的频率比较高,一般都采用电
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射频产品已成为现在生活中不可缺少的一部分。在射频收发机中最重要的部分就是频率综合器,而频率综合器中的重要组成部件就是压控振荡器。射频电路的频率比较高,一般都采用电感电容网络(LC)压控振荡器。由于使压控振荡器精确的在某一个频率上振荡是很困难的,所以LC压控振荡器都使用可变电容来进行频率的调节。本文围绕可变电容进行了一系列的研究,首先,讨论了几种可变电容的结构分析其优缺点并进行流片;其次,将性能较好的N+掺杂栅积累型金属氧化物半导体(MOS)可变电容用ICCAP(一种软件)建立Spectre模型;最后,将可变电容应用到压控振荡器中进行性能及模型的验证。本文还提及了互补MOS(CMOS)的基本工艺和部分与可变电容有关的工艺以及射频器件的测试方法。文中的所有器件和电路都是基于中芯国际集成电路制造有限公司0.18μm工艺。
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