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离子敏场效应晶体管(ISFET)是一种用来测量溶液中离子浓度的化学传感器,它具有宽广的离子测量范围。在化学、化工、印染、纺织、土壤分析、环境保护以及生物医学等领域都有广阔的应用前景。
本文对CMOS氢离子集成传感器系统的设计进行了研究。文章通过建立起的SPICE模型,在此基础上进一步完成了信号处理电路的设计,提出了一种新颖的既能抑制温度漂移,又能克服衬底“体效应”的信号读取电路形式。而在工艺上,本文制作ISFET采用TSMC0.35μm1P4MCMOS工艺,栅极设计为5X250um大小的“叉指”形状,提高了栅极敏感层的接触面积达到很好的pH灵敏度。