本文使用传统工艺将两种纳米材料结合在一起,制备出一种创新性复合材料。纳米硅孔柱阵列（Silicon Nanoporous Pillar Array,Si-NPA）具有特殊的微米/纳米双重结构。其表面上形成的大量排序规则的孔柱,易于水分子的吸附。孔柱间间隙使传输水蒸气更通畅,可加快响应时间。其独特的结构和物理特性正是制备硅基半导体纳米传感器衬底材料的理想选择。SnO₂是常见的湿敏材料,具有良好的吸附性、稳定性。SnO₂是常见的湿敏材料。因此将二氧化锡与纳米硅孔柱阵列相结合可达到提升湿敏特性的目的。采取溶胶-凝胶法和阳极氧化法制备的SnO₂/Si-NPA湿敏元件都表现出良好的湿敏特性,相对湿度增长,则电容值也相应增长。溶胶-凝胶法元件特点是灵敏度高,但湿滞较大。1kHz下,灵敏度高达2349.3%。湿滞最大值为62.3%。溶胶-凝胶法元件在68%RH-100%RH范围内电容值变化幅度大,适合用于高湿范围内检测湿度。响应时间约为252s,恢复时间约为148s。阳极氧化法元件特点是响应速度快,湿滞较小。响应时间约为108s,恢复时间约为45s。湿滞最大值为12.5%。灵敏度达到一般湿度传感器标准,1kHz下,达到491.9%。阳极氧化法元件在23%RH-75%RH范围内电容值变化幅度大,适合用于作中湿范围内检测湿度。归纳总结为阳极氧化法制备的SnO₂/Si-NPA湿敏特性比溶胶-凝胶法制备的SnO₂/Si-NPA优越。