软X射线宽带多层膜反射镜的研制及检测

来源 :吉林工业大学 吉林大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:djkangzi
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该文以周期膜的理论为基础,采用随机数的方法,在软X射线波段设计出了不同用途的宽带多层膜反射镜.并讨论了多层膜各个参量对多层膜性能的影响.用磁控测射方法在18-20nm波段制备了积分反射率最大的宽带多层膜反射镜.最后的X射线衍射测量和反射率的相对测试结果表明,制备的宽带多层膜达到了预期的目标,可望在软X射线成像系统及光谱诊断系统中获得应用.
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