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MEMS陀螺是目前惯性导航传感器的一个重要研究方向,具有广泛的应用前景。本文提出了一种新型的检测横向角速度和滚动角速度的无驱动硅微机械陀螺。 首先,本文根据该陀螺的原理特点,分别介绍了该陀螺的基本结构,敏感元件的工作原理、加工工艺和动力学参数选择,以及敏感元件的安装方法。 其次,建立了相应的坐标系,并推导了在相应坐标系中获取横向角速度和滚动角速度的方法,并使用三轴精密转台进行了仿真实验,并采集了相应的信号,通过上述方法的求解和分析,验证了横向角速度和滚动角速度获取方法的正确性。 最后,研制了以DSP2812为核心的微机械陀螺姿态传感器样机,介绍了具体电路设计与软件设计。通过实验对微机械陀螺姿态传感器样机进行了测试,对测试结果进行了认真分析,结果显示,这种硅微机械陀螺在保证较高精度的前提下,能将延时降低至1/4个载波周期。