论文部分内容阅读
用低能量氩离子束轰击芯片背面,能改善以热氮化和快速热氮化SiOxNy为栅介质的n沟的MOSFET的特性,结果表明,在能量为550eV和束流密度为0.5mA/cm^2时,随着轰击时间的增加,跨导、沟道和有效迁移率增大,然后这些变化趋于减缓,甚至开始呈恶化趋势。快速热氮化SiOxNy 介质的MOSFET的改善效果要比常规热氮化的好、实验证明,上述参数的改善是由于界面态密度和固定电荷密度减小的结果,文中