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提出了一种利用同步辐射白光形貌术定量计算晶体残余应力的方法。晶体的残余应力与晶格畸变之间存在定量关系，衍射斑点的畸变程度可以反映晶格的畸变量，据此可以计算晶体中的残余应力。文中以碳化硅单晶样品残余应力的定量计算作为实例，展示了实验方法和计算过程。结果表明该样品的残余应力以正应力为主。
同步辐射白光形貌术定量计算晶体的残余应力
【摘 要】
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提出了一种利用同步辐射白光形貌术定量计算晶体残余应力的方法。晶体的残余应力与晶格畸变之间存在定量关系，衍射斑点的畸变程度可以反映晶格的畸变量，据此可以计算晶体中的残
【机 构】
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山东大学晶体材料国家重点实验室,中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2013年12期
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