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熔石英玻璃在激光的辐照下会发生损伤而导致内部失透,提高熔石英玻璃激光损伤阈值有利于解决这个问题。论文通过实验研究了在不同熔制气氛、沉积速度与热处理方法下获得的熔石英玻璃其355nm的激光损伤阈值。为忽略表面质量引起的吸收损伤,所有样品经相同的表面处理,并采用体损伤测试方法。实验结果发现,氢气载料熔制的熔石英玻璃的激光损伤阈值最高,可达22.2J/cm^2,氧气气氛慢速熔制的熔石英玻璃其损伤阂值最低,平均约17.6J/cm^2。在对氧气慢速砣进行不同的热处理后,其损伤阈值有不同程度的提高,最高可达28.2J