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设计一种用于激光干涉仪的等比例偏移定量调整的准直装置，利用该装置可以方便快捷、精准定量、一次性实现光路准直。实验表明：对于校准坐标测量机单轴6m的定位误差，利用该装置调整准直光路的方法只需要调整一次，所用时间小于2min。
一种应用于激光干涉仪的等比例偏移定量准直装置
【摘 要】
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设计一种用于激光干涉仪的等比例偏移定量调整的准直装置，利用该装置可以方便快捷、精准定量、一次性实现光路准直。实验表明：对于校准坐标测量机单轴6m的定位误差，利用该装置调
【机 构】
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天津市计量监督检测科学研究院
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2018年6期
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