【摘 要】
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微机械加工技术是现代新型传感器技术的基础,目前它已渗透到传统的传感器领域,高性能的微机械结构传感器已出现.不仅可以制成简单的准三维结构,而且可以做成三维
Micromachi
【机 构】
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电子工业部49研究所!哈尔滨,150001,电子工业部49研究所!哈尔滨,150001
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微机械加工技术是现代新型传感器技术的基础,目前它已渗透到传统的传感器领域,高性能的微机械结构传感器已出现.不仅可以制成简单的准三维结构,而且可以做成三维
Micromachining technology is the foundation of modern new sensor technology, and now it has penetrated into the traditional field of sensors, high-performance micro-mechanical structure sensors have emerged.Not only can be made into a simple quasi-three-dimensional structure, but also can be made into three-dimensional
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