【摘 要】
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提出了采用声表面波技术实现纸基微流开关的方法。它由127.68°旋转Y切割X传播方向的LiNbO3压电基片和两个有一定间隙的纸微通道组成。压电基片上采用微电子工艺制作1个
【基金项目】
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浙江省自然科学基金项目（Y1080118）, 宁波市自然基金项目（2011A610108）
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提出了采用声表面波技术实现纸基微流开关的方法。它由127.68°旋转Y切割X传播方向的LiNbO3压电基片和两个有一定间隙的纸微通道组成。压电基片上采用微电子工艺制作1个中心频率为27.5MHz的叉指换能器和1个反射栅,纸微流通道采用PDMS薄膜贴附于压电基片的声传播路径上,微流通道一侧微流体在没有声表面波作用时,微流体不能通过微流通道间隙,实现微流开关的＂off＂功能,当叉指换能器施加经功率放大器放大后的RF信号,它激发的声表面波驱动微流通道中微流体输运到另一微流通道,实现微流开关的＂on＂功
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