【摘 要】
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在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一
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在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4m／s最大
Laser interferometers have played an extremely important role for years in ultra-precise measurement and calibration. However, in recent years, as the performance of the automated displacement system has greatly increased, in the face of the needs of the semiconductor and the traditional metal processing industries, the performance of the existing laser system has been unable to meet the requirements of some customers. Renishaw’s new XL-80 laser interferometer meets and exceeds actual industry specifications and offers 4m / s maximum
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