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本文比较了不同表面状态的薄膜和不同制备条件获得的薄膜的折射率和厚度椭圆偏振光法（以下简称椭偏光法）测量的结果，并分析了引起测量结果偏差的原因。
薄膜样品的表面状态及制备条件对椭偏仪测量结果的影响
【摘 要】
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本文比较了不同表面状态的薄膜和不同制备条件获得的薄膜的折射率和厚度椭圆偏振光法（以下简称椭偏光法）测量的结果，并分析了引起测量结果偏差的原因。
【机 构】
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北京师范大学物理系
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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1998年3期
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技